01 / CLEANLINESS
汚染源を減らす
構造
- Mo/Wホットゾーン
- 繊維系断熱材を主要部に使わない
→
効果
- 発塵源を低減
- 炭素・吸着水分の混入経路を低減
活かせる用途：高純度材料 / 半導体前処理 / 接合界面
Mo/W等の耐火金属でホットゾーンを構成し、真空・不活性・H₂雰囲気で高純度な熱処理を行う加熱炉です。清浄性、雰囲気、温度分布をワーク条件に合わせて一体設計します。
炉の構造が、プロセス上の効果へどうつながるかを3点で整理します。
実機の炉内写真と主要設計要素から、清浄性・高真空・高温処理を支える構造を示します。
「炉の特長」を「材料プロセス上のメリット」へ結び付けます。
オールメタル構造・雰囲気制御・温度分布設計を活かせる代表例です。
脱ガス・乾燥・表面安定化など、清浄性を重視する前処理。
金属 / セラミックス / ガラスの酸化を抑えた接合工程。
粉末・酸化物・窒化物など、炉材由来コンタミを避けたい処理。
温度分布・反り・応力・再現性を重視する熱処理。
下記は条件出し用の一例です。ワーク・温度・雰囲気・スループットから装置仕様を逆算します。
同じ「メタル炉」でも、温度・雰囲気・炉内寸法に応じて設計は変わります。
R&D / 2000℃
ULTRA HIGH TEMP.
COMPACT RESEARCH選定時に確認されるポイントを簡潔にまとめています。
メタル炉はMo/W等のオールメタルホットゾーンで低アウトガス・低発塵・炭素コンタミ回避を重視します。カーボン炉はグラファイト構成により3000℃級の超高温に強みがあります。
炉内主要部に炭素材料を使わないため、炭素源からのコンタミ経路を避けやすく、高純度な還元処理に適します。寿命は温度・H₂純度・材料グレード等を考慮します。
対応実績があります。H₂濃度、温度、圧力、パージ、漏洩監視、インターロック、排気処理を含めて個別設計します。
いいえ。残留ガスはワーク・治具のアウトガス、リーク、ベーク条件、真空系構成、ガス純度に依存します。
決まりません。高真空・高温では輻射が支配的で、ヒーター配置、遮熱板、視野率、治具、ワーク熱容量、レシピが重要です。
可能です。製作実績として2600℃(Ar)、2400℃(N₂)、2000℃(真空)があります。高温側ではW主体のホットゾーンや測温方法を含めて再設計します。
完成した仕様書は不要です。処理材料、目標温度、雰囲気、ワークサイズ、許容コンタミ・温度ばらつきを確認し、ホットゾーン・真空・ガス・安全仕様を整理します。