Thermonik ENG For the future, for the earth
装置販売の協業先(技術商社様)を募集中です。 国内外で当社装置の提案・販売をご一緒いただける企業様を募集しています。 協業について問い合わせる →
INDUSTRIAL FURNACE ENGINEERING

熱・真空・ガスを、
一台の設備にする。

超高温、高真空、H₂、Cl₂/HClを含むハロゲンガス、複数雰囲気。カタログ品では成立しない熱処理条件を、炉体・真空・ガス・排気・安全まで含めて実際に運転できる設備へ落とし込みます。

Thermonik メタル炉 実機
THERMONIK / ENGINEERING RANGE
ULTRA HIGH TEMP.~3000℃
HIGH VACUUM10⁻⁶ Pa級
HALOGEN PROCESSCl₂ / HCl
ENGINEERINGR&D → Production
ACTUAL EQUIPMENT / METAL FURNACE
~3000℃ULTRA HIGH TEMPERATURE
10⁻⁶ Pa級HIGH VACUUM
Cl₂ / HClHALOGEN / CORROSIVE PROCESS
R&D → ProductionSCALE-UP ENGINEERING
PRODUCT LINE

特殊な熱処理条件に合わせた
電気炉・加熱炉。

メタル炉
ALL-METAL VACUUM FURNACE

メタル炉

Mo/Wを中心としたオールメタル構成。低コンタミ、高真空、不活性・還元雰囲気での高純度熱処理。

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STANDARD~1800℃級PROVEN最大2600℃級ATMOSPHERE真空 / N₂ / Ar / H₂
カーボン炉
ULTRA HIGH TEMPERATURE

カーボン炉

グラファイトヒーター・断熱構成による3000℃級の超高温炉。炭素材料の高結晶化や高融点材料評価へ。

製品詳細 →
CONTINUOUS2800℃MAX.3000℃ATMOSPHEREAr / N₂
マルチ雰囲気炉
MULTI ATMOSPHERE

マルチ雰囲気炉

真空・不活性・還元・酸化・窒化などを一台で切替。WetterによるDry/Wet・露点条件の再現にも対応。

製品詳細 →
TEMPERATURE~1700℃GASN₂ / Ar / H₂ / O₂ / NH₃CONTROLDry / Wet
静電チャック向け雰囲気焼成炉
SEMICONDUCTOR / ESC

静電チャック向け 雰囲気焼成炉

N₂+H₂還元雰囲気と1600℃級高温処理を組み合わせ、ESC焼成工程の集約・再現性向上を狙う専用炉。

製品詳細 →
CONTINUOUS1600℃MAX.1650℃ATMOSPHEREN₂ / N₂+H₂
管状炉
R&D / REACTION TEST

管状炉

少量サンプルのガス流通試験・反応性評価向け。サンプル温度、ガス流量、圧力などの計測も組み合わせ可能。

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TEMPERATURE~1200℃ATMOSPHEREAr / N₂USER&D
塩素炉(ハロゲン炉)
HALOGEN / CORROSIVE GAS PROCESS

塩素炉(ハロゲン炉)

Cl₂・HClなどのハロゲン系ガスを用いた高温反応。乾式高純度化、付着物除去、塩化反応などを減圧下で実施。

製品詳細 →
TEMPERATURE~1400℃VACUUM数PaGASCl₂ / HCl / N₂ / Ar / H₂
装置販売の協業先(技術商社様)を募集しています。

加熱炉・特殊雰囲気炉を提案いただける国内外の販売パートナー様を募集しています。取扱製品や協業形態については個別にご相談ください。

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FURNACE TROUBLE / CUSTOM ENGINEERING

市販品で対応できない電気炉も、
ご相談ください。

電気炉は用途によって必要仕様が大きく変わります。「型式から選ぶ」のではなく、処理条件とお困りごとから製作可否を検討します。

温度・雰囲気・サイズ・圧力・清浄度・処理量などの条件が市販炉では合わない、既設炉が廃盤となり代替機が見つからない、炉の一部だけ更新したい——そのような「炉に関する困りごと」も含めてご相談ください。

01 / CUSTOM FURNACE

特殊炉・特注炉

一般的な市販炉では成立しない温度・雰囲気・サイズ・圧力・清浄度などの条件に合わせて個別設計。

02 / MODIFICATION

既設炉の改造・更新

ガスライン追加、真空系変更、制御更新、安全対策、温度域変更など、既設設備の改造を検討。

03 / CONSUMABLES

ヒーター・断熱材・炉内部品

Mo/W/Graphite等のヒーター、電極、遮熱板、断熱材、炉床などの消耗・交換部品。

04 / CRUCIBLE

特殊るつぼ

Graphite、Al₂O₃、石英、Mo/W等。温度・雰囲気・反応性・離型性を踏まえて材質と形状を検討。

05 / SAGGAR & JIG

サヤ・棚板・治具

ワーク保持、熱衝撃、離型性、ガス流れ、反応性を踏まえた専用サヤ・棚板・セッター・治具。

06 / OBSOLETE PART

廃番品・図面なし部品

メーカー対応終了品や図面が残っていない既設炉部品でも、現物・使用条件から再製作の可否を検討。

PROCESS 材料処理 目的 / 品質 / 再現性
ELECTRICAL電気加熱 / 電源 / 計測 / 制御
EQUIPMENT設備炉体 / 真空 / ガス / 排気 / 冷却
CHEMISTRY化学反応 / 材料 / 揮発 / 腐食
PROCESS DESIGN = ELECTRICAL × EQUIPMENT × CHEMISTRY
ENGINEERING APPROACH

電気 × 設備 × 化学

電気炉は、装置を製作しただけでは完結しません。「何を」「どの雰囲気で」「どの温度履歴で」「どの品質まで」処理するのかを理解し、その使い方から逆算して設備を最適化します。

電気ヒーター・電源・温度計測・PID制御・インターロック。狙った温度履歴を再現するための制御技術。
設備炉体・真空・ガス導入・排気・冷却・安全設備・治具。実際に安定運転できるシステムへ落とし込む設備技術。
化学材料とガスの反応、酸化・還元・窒化・塩化、生成物の揮発・凝縮・腐食。処理結果を決める反応プロセスの理解。
材料・処理目的反応条件炉・ガス・真空設計運転条件 / 設備化
CONSULTATION / CONTACT

まずは「こんな処理をしたい」「今の炉で困っている」からご相談ください。

完成した仕様書や図面は必要ありません。用途・処理したい材料・お困りごとをお聞きし、当社側で必要条件を整理した上で、実現方法をご提案します。

例:この材料をH₂で処理したい / 市販炉ではサイズが合わない / 既設炉のヒーターだけ作りたい / Cl₂・HClを使いたい / 特殊るつぼを製作したい
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