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メタル炉カーボン炉マルチ雰囲気炉ESC向け炉管状炉塩素炉(ハロゲン炉)
TUBE FURNACE / REACTION ANALYSIS

管状炉
(ガス流通・反応評価炉)

反応管にサンプルを配置し、雰囲気ガスを流しながら加熱する電気炉です。温度だけでなく、入口/出口流量・圧力・サンプル温度を組み合わせることで、焼成結果に加えて反応中の変化を評価できます。

1200℃ 代表例*ガス流通物温測定Qin / Qout*Pin / Pout*長尺 / CUSTOM
ACTUAL EQUIPMENT / TUBE FURNACEThermonik ENG 管状炉 実機
REPRESENTATIVE EXAMPLE / CUSTOM DESIGN
TEMPERATURE1200℃ 例*
HOT ZONEφ120 × 500L 例*
TUBEφ70 × 1000L 例*
ATMOSPHEREAr / N₂ 例*
1200℃*REPRESENTATIVE EXAMPLE
Gas FlowCONTROLLED ATMOSPHERE
T / Q / PREACTION MEASUREMENT
Long / LargeCUSTOM ENGINEERING
SUITABLE FOR

少量サンプルで、
反応条件を「測りながら」比較。

炉温だけでは見えにくい反応開始、ガス消費・発生、圧力損失を、必要な計測項目を追加して捉えます。

GAS FLOW

流量条件を比較

流量・滞留時間を変え、材料反応や焼成挙動への影響を確認。

SAMPLE TEMPERATURE

試料の実温度を測定

炉設定温度ではなくサンプル近傍を測り、熱遅れや発熱・吸熱を把握。

COMPACT R&D

条件出しを小型で開始

新規材料や少量試料で反応条件を絞り込み、スケールアップ前の基礎データを取得。

REACTION ANALYSIS PLATFORM

「入口 → 反応管 → 出口」を測ると、
反応中の変化が見える。

ガス供給系、反応管、サンプル、出口計測を一つの測定系として構成します。

GAS SUPPLY N₂Ar / Gas MFCQin Pin TUBE FURNACEHEATED / UNIFORM ZONE SAMPLE / BOAT Tsample / TC Pout FLOWQout GASANALYZER* MEASUREMENT → WHAT IT TELLS YOU Tsample反応開始 / 発熱・吸熱 Qin ↔ Qoutガス消費 / 発生の兆候 Pin ↔ Pout圧損 / 閉塞・通気変化 Gas composition*生成ガス種 / 反応終点
① 入口条件を固定Qin・Pin・ガス組成を設定し、再現性のある入力条件を作る。
② サンプル近傍を測る熱電対を反応部へ配置し、実際の反応温度を把握。
③ 出口変化を比較Qout・Pout・排ガス組成から、反応・閉塞・ガス発生を判断。

計測値を「現象」に結び付ける

TEMP.
温度変化 → 反応開始・発熱/吸熱炉温と物温の差や時間変化から、試料の熱応答を確認。
FLOW
流量差 → ガス消費・発生の兆候同一基準状態へ換算したQin/Qoutを比較し、正味のガス量変化を確認。
PRESS.
圧力差 → 通気抵抗・閉塞傾向粉体層、ワーク、フィルタ等の圧力損失変化を監視。
GAS*
排ガス分析 → 生成ガス種・終点必要に応じてFTIR/GC/MS等への採取ポートを設置。
SAMPLE TEMP.

サンプル温度

設定温度と実温度の差、発熱・吸熱、熱遅れを把握。

活かせること反応開始温度、保持時間、昇温レシピの最適化。
ΔT = Tsample - Tset
炉温と物温の差を追跡。
IN / OUT FLOW

入口・出口流量

同一基準状態に換算した流量を比較し、ガス量変化を確認。

活かせること反応ガス消費、ガス発生、終点判断の補助。
ΔQ = Qout,std - Qin,std
組成変化が大きい場合はガス分析と併用。
PRESSURE DROP

入口・出口圧力

反応管内の圧力損失を監視し、通気状態の変化を確認。

活かせること充填層の閉塞、粉体移動、ガス発生による変化の検知。
ΔP = Pin - Pout
配管・フィルタ圧損を含む配置条件を考慮。
GAS ANALYSIS*

排ガス分析

採取ポートから外部分析装置へ接続し、出口ガス組成を確認。

活かせること生成ガスの同定、反応率評価、反応終了の判定。
Cout(t) / species
分析装置は対象ガス・濃度レンジに合わせて選定。
計測観測できる変化プロセス設計へのつなげ方
物温 T設定温度とのずれ、発熱/吸熱反応開始温度、均熱時間、昇温速度を決める。
Qin / Qout正味の流量増減ガス消費・発生の有無を比較し、必要流量・反応時間を絞る。
Pin / Pout圧力損失・変動充填高さ、粒径、フィルタ、配管径の設計へ反映。
出口組成*生成/未反応ガス種反応機構、転化率、終点、排気処理条件を検討。
* 排ガス分析はオプション。流量差を反応量へ定量換算する場合は、温度・圧力・ガス組成を同一基準へ補正します。
APPLICATIONS

適用分野例

温度・ガス流量・圧力を独立に変えながら、材料がどの条件で反応するかを比較できます。

ATMOSPHERE TEST

少量サンプルの雰囲気試験

雰囲気を変えた焼成結果を比較。

主な計測:物温 / Qin / Pin
REACTION BEHAVIOR

材料の反応性評価

温度・流量・圧力を変え、反応開始と進行条件を探索。

主な計測:物温 / Qin-Qout / 出口組成*
EXO / ENDO

発熱反応・ガス発生

試料温度と出口側の変化を同時に確認。

主な計測:物温 / Qout / Pout
FLOW CONDITION

ガス流量条件の比較

流量・滞留時間が反応率へ与える影響を比較。

主な計測:Qin / Qout / 出口組成*
BASIC R&D

新規材料の初期評価

大型設備へ移行する前に、少量で温度・ガス条件を絞り込み。

活用:条件探索 / スケールアップ基礎
MECHANISM STUDY

反応メカニズム解析

複数の計測値を時系列で重ね、反応の開始・進行・終了を推定。

主な計測:T / Q / P / Gas*
REPRESENTATIVE SPECIFICATION

管状炉の代表仕様例

1200℃・φ70×1000Lは一例です。温度、管径・長さ、加熱ゾーン、ガス、計測機能を用途に合わせて設計します。

加熱ゾーン
φ120 mm × 500 mmL ※代表例
管サイズ
φ70 mm × 1000 mmL ※代表例
使用温度
1200℃ ※代表例
雰囲気
Ar / N₂ ※代表例。その他ガスは材料・温度・安全性を確認
ヒーター
カンタルA1 ※代表例。要求温度により方式を再選定
必要UTY
電力12 kVA / 3相200V ※代表例
固定仕様ではありません。 より高温、大径、長尺、多ゾーン、減圧、異なるガス条件は、反応管材質・ヒーター・断熱・シール・計装を含めて再設計します。
REACTION TUBE MATERIAL

反応管材質の選定

温度だけでなく、ガス反応性・純度・熱サイクル・気密性から材質を選定します。4材質を同じ視点で比較できるよう整理しています。

REPRESENTATIVE

アルミナ(Al₂O₃)

高温域と耐食性を重視する代表的な反応管。

  • 高温・腐食環境に対応しやすい
  • 高純度グレードを選択可能
  • 急激な温度変化では熱応力に注意
HIGH PURITY / LOW CTE

石英・溶融シリカ

高純度・低熱膨張を重視する条件で候補。

  • 熱サイクルに強い
  • 高純度用途に適用しやすい
  • 高温長時間では軟化・失透を考慮
BALANCE

ムライト

耐熱性・熱衝撃性・コストのバランスを取る候補。

  • 比較的良好な耐熱衝撃性
  • 高温炉用セラミックスとして一般的
  • 高真空・高純度では気密性・純度を確認
HIGH TEMP.

SiC(炭化ケイ素)

高熱伝導・耐熱衝撃性を求める高温用途の候補。

  • 高い熱伝導性
  • 高温・過酷条件向けグレードあり
  • 酸化・気密性はグレード依存
01使用温度
02ガス反応性
03純度・気密性
04熱サイクル
材質選定: 最高使用温度だけで決めず、使用ガスとの化学反応、熱膨張、ガス透過、長尺時の自重変形まで確認します。
CUSTOM / REPLACEMENT

長尺・大型・多ゾーン、
既設機の代替製作にも対応。

研究用小型機から、長尺ワーク・大型反応管・特殊計測・既設機更新まで個別設計します。

LONG / LARGE

長尺・大型化

管径、全長、加熱ゾーン長、支持方法を再設計。

MULTI-ZONE

多ゾーン・特殊仕様

複数温度ゾーン、追加ガス口、計測ポート等を追加。

LEGACY REPLACEMENT

廃盤・既設機の代替

仕様書・図面・現物情報から同等機能を目標に再設計。

TemperatureHEATER / TUBE MATERIAL CUSTOM
Length & DiameterLONG / LARGE REACTION TUBE
MeasurementT / Q / P / GAS ANALYSIS
FAQ

よくある質問

温度、計測、サイズ、代替製作についてまとめています。

サンプルの温度を直接測定できますか?

可能です。入口側から熱電対をサンプル近傍まで差し込み、炉体の制御温度とは別に実サンプル温度を測定できます。

入口・出口の流量や圧力を測定できますか?

入口/出口流量、入口/出口圧力を計測する構成を検討できます。同一基準状態へ換算した流量差はガス消費・発生の傾向、圧力差は通気抵抗・閉塞傾向の把握に利用できます。

1200℃より高い管状炉も製作できますか?

1200℃は代表仕様例です。より高温ではヒーター、断熱材、反応管材質、シール構造を再選定して個別設計します。

大型・長尺の管状炉も製作できますか?

可能です。反応管径、長さ、加熱ゾーン長、ゾーン数、支持方法、熱膨張を考慮して設計します。

他社で廃盤になった管状炉の代替機を製作できますか?

型式、仕様書、図面、写真、現物寸法、使用レシピ、必要UTY等を確認し、同等機能を目標とした代替設備を検討します。

CONSULTATION

反応管サイズ・ガス・計測項目からご相談ください。

サンプル量、使用温度、ガス種・流量、圧力、物温測定、入口/出口流量、排ガス分析の要否を確認し、反応管・ヒーター・計装・排気を整理します。

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